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真空泵最佳工作范围
| 泵种类 | 油封机械泵 | 水蒸汽喷射泵 | 罗茨泵 | 油增压泵 | 油扩散泵 |
| 最佳工作范围（Pa） | 10-10 | 10-10 | 10-1 | 1-10 | 5X10-10 |